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GB/T 19199-2003
废止
中文名称: 半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法
英文名称: Test method for carbon concentration of semi-insulating monocrystal gallium arsenide by measurement infrared absorption method
发 布 日 期 : 2003-06-16
废 止 日 期 :
实 施 日 期 : 2004-01-01
页 数 : 8页
中 国 标 准 分 类 : H82    元素半导体材料
国 际 标 准 分 类 : 29.045   半导体材料
适用范围 :
本标准规定了非掺杂半绝缘砷化镓晶片中碳浓度的红外吸收测试方法。本标准适用于电阻率大于1.0×107 Ω·cm的非掺杂半绝缘砷化镓晶片中碳浓度的测定。可测定的最低碳浓度为4.0×1014 cm-3。
引用了下列标准
采用了下列标准
代替了下列标准
被下列标准采用
被下列标准引用
标准来源
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